生产半导体设备的重要性 在半导体生产过程中,涉及一系列关键设备以确保高质量的半导体器件制造，以下是关于半导体生产设备的主要介绍： 半导体生产中的主要设备,涵盖了从熔融半导体材料到制备薄膜的整个过程，单晶炉、气相外延炉、分子束外延系统、氧化炉（VDF）、低压化学气相淀积系统以及...