氦检漏原理与检漏方法介绍 氦质谱检漏,是一种从真空腔体外部利用氦气吹向被检测部位，通过氦质谱检漏仪进行检测的真空检测方式，它是目前最为常用的真空检漏方式，其原理如下： 氦质谱检漏仪的核心在于其先进的微处理机技术,微处理机实时监测传感头和电池电压值，确保能够准确检测到一价氦离子...